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定制KF63带1组DB9，1组DB25,4组QPC快拧气管接头馈通
真空侧、大气侧均可插拔
大气下耐电压值：500VAC
最大工作电压/电流：100V/5A(公针直径1.0mm)
法兰材料：不锈钢SUS304
真空泄漏率： 小于1*10-9 Pa*m3/s
定制KF63带1组DB9，1组DB25,4组QPC快拧气管接头馈通
真空侧、大气侧均可插拔
大气下耐电压值：500VAC
最大工作电压/电流：100V/5A(公针直径1.0mm)
法兰材料：不锈钢SUS304
真空泄漏率： 小于1*10-9 Pa*m3/s
工作温度范围：-40～200℃
